ASML постачає першу партію системних модулів літографії High NA EUV

Після десяти років досліджень і розробок у грудні 2023 року компанія ASML офіційно поставила Intel першу систему літографії High NA (висока числова апертура) EUV — перші модулі TWINSCAN EXE:5000, що стало кроком уперед у виробництві передових мікросхем. крок.