ASML cung cấp lô mô-đun hệ thống in thạch bản EUV NA cao đầu tiên

Sau mười năm nghiên cứu và phát triển, ASML đã chính thức giao lô mô-đun đầu tiên của hệ thống in thạch bản EUV High NA (khẩu độ số cao) đầu tiên-TWINSCAN EXE:5000 cho Intel vào tháng 12 năm 2023, thể hiện một bước tiến trong lĩnh vực sản xuất chip tiên tiến một bước quan trọng