ASML اولین دسته از ماژول های سیستم لیتوگرافی High NA EUV را ارائه می دهد
سهام ویل
با
که
EUV
این
و
ASML
لین
سال
تراشه
تراشه
تحقیق و توسعه
هند
ساخت
بالا
ماژول ها
ماژول ها
دیافراگم
لیتوگرافی
دیافراگم
به جلو
به جلو
دسا
تحقیق
سال
2023
توسعه
او
فی
این
2024-12-26 21:14
39
پس از ده سال تحقیق و توسعه، ASML رسماً اولین سیستم لیتوگرافی High NA (دیافراگم عددی بالا) EUV را در دسامبر 2023 به اینتل تحویل داد - اولین ماژول های TWINSCAN EXE:5000 که نشان دهنده گامی رو به جلو در ساخت تراشه های پیشرفته است. گام
