画期的な国産炭化珪素基板技術

国内では、炭化ケイ素基板技術が重要な進歩を遂げました。山東天悦会社、北京天科和達会社、河北東光水晶会社はそれぞれ山東大学、中国科学院物理研究所、中国科学院半導体研究所と技術協力と変革を実施し、6インチ導電性結晶の開発に成功した。 SiC基板および高純度半絶縁性SiC基板。また、国内企業による４インチ基板の量産化や６インチ基板の研究開発も進んでいる。