국내 탄화규소 기판 기술, 획기적인 성과 달성

국내에서는 탄화규소 기판 기술이 중요한 돌파구를 마련했습니다. Shandong Tianyue Company, Beijing Tianke Heda Company 및 Hebei Tongguang Crystal Company는 각각 산동대학교, 중국과학원 물리연구소, 중국과학원 반도체연구소와 기술 협력 및 변혁을 진행하여 6인치 전도성 반도체 개발에 성공했습니다. SiC 기판 및 고순도 반절연 SiC 기판. 또한 국내 기업들은 4인치 기판 양산을 달성하고 6인치 기판 연구개발에도 진전을 이루었다.