Вітчизняна технологія підкладки з карбіду кремнію досягла прориву

Усередині країни технологія підкладки з карбіду кремнію зробила важливі прориви. Компанія Shandong Tianyue, Beijing Tianke Heda Company та Hebei Tongguang Crystal Company здійснили технічне співробітництво та трансформацію з Шаньдунським університетом, Інститутом фізики Академії наук Китаю та Інститутом напівпровідників Академії наук Китаю відповідно, і успішно розробили 6-дюймовий провідний Підкладки SiC і високочисті напівізоляційні підкладки SiC. Крім того, вітчизняні компанії досягли масового виробництва 4-дюймових підкладок і досягли прогресу в дослідженнях і розробці 6-дюймових підкладок.