Processus de production de substrat en carbure de silicium

Le processus de production du substrat en carbure de silicium comprend principalement les étapes suivantes : La première est la préparation des matières premières qui doivent être synthétisées en poudre de particules polycristallines de SiC dans un rapport de 1 : 1. La taille et la pureté des particules affecteront directement. la qualité du cristal. La seconde est la sélection des germes cristallins. Les germes cristallins constituent le substrat de la croissance cristalline, fournissant une structure de réseau de base pour la croissance cristalline et affectant également la qualité des cristaux. Il y a ensuite la croissance cristalline, qui est le processus central de la production de substrats SiC. Les principales méthodes comprennent la méthode de transmission physique en phase vapeur, la méthode de dépôt chimique en phase vapeur à haute température et la méthode en phase liquide. Vient ensuite le traitement du lingot, qui est orienté à travers un orientateur monocristallin à rayons X, puis meulé et arrondi, la surface du germe cristallin est retirée, la surface du dôme est retirée et le cristal de carbure de silicium est transformé en un diamètre standard. Ensuite, il y a la découpe des cristaux, où les cristaux développés sont découpés en feuilles. Étant donné que la dureté du carbure de silicium est juste derrière le diamant et qu'il s'agit d'un matériau très dur et cassant, le processus de découpe prend beaucoup de temps et est facile à briser. Les méthodes de découpe comprennent principalement la découpe au fil de mortier, la découpe multifils au fil diamanté et le pelage par irradiation laser. Viennent ensuite le meulage et le polissage des plaquettes pour traiter la surface du substrat jusqu'à obtenir un plan atomiquement lisse. Les abrasifs couramment utilisés comprennent le carbure de bore, le diamant et d'autres abrasifs de haute dureté. La dernière étape est l'inspection du nettoyage des plaquettes, qui est utilisée pour éliminer les particules résiduelles et les impuretés métalliques pendant le traitement et effectuer une inspection de qualité complète.