Proceso de producción de sustrato de carburo de silicio.

El proceso de producción del sustrato de carburo de silicio incluye principalmente los siguientes pasos: El primero es la preparación de las materias primas que deben sintetizarse en polvo de partículas policristalinas de SiC en una proporción de 1:1. Su tamaño de partícula y su pureza afectarán directamente. La calidad del cristal. El segundo es la selección de cristales semilla. Los cristales semilla son el sustrato para el crecimiento cristalino, proporcionando una estructura reticular básica para el crecimiento cristalino y también afectando la calidad del cristal. Luego está el crecimiento de cristales, que es el proceso central de la producción de sustratos de SiC. Los métodos principales incluyen el método de transmisión física de vapor, el método de deposición química de vapor a alta temperatura y el método en fase líquida. Lo siguiente es el procesamiento del lingote, que se orienta a través de un orientador monocristalino de rayos X, luego se muele y se redondea, se retira la superficie del cristal semilla, se retira la superficie de la cúpula y el cristal de carburo de silicio se procesa hasta alcanzar un tamaño de diámetro estándar. Luego está el corte de cristales, donde los cristales crecidos se cortan en láminas. Dado que el carburo de silicio ocupa el segundo lugar después del diamante en dureza y es un material muy duro y quebradizo, el proceso de corte lleva mucho tiempo y es propenso a la fragmentación. Los métodos de corte incluyen principalmente corte con alambre de mortero, corte de múltiples alambres con alambre de diamante y pelado por irradiación láser. Lo siguiente es el pulido y pulido de obleas para procesar la superficie del sustrato hasta obtener un plano atómicamente suave. Los abrasivos de uso común incluyen carburo de boro, diamante y otros abrasivos de alta dureza. El último paso es la inspección de limpieza de las obleas, que se utiliza para eliminar partículas residuales e impurezas metálicas durante el procesamiento y realizar una inspección de calidad integral.