CoreDynamicsの高精度共振型MEMS絶対気圧センサーは順調に開発が進んでいる

141
Innosilicon は、高精度共振型 MEMS 絶対気圧センサーの進歩を紹介しました。現在、同社の産業用高精度共振型MEMS絶対気圧センサーや高精度広範囲圧力計測センサーは国内先進レベルにある。同社は、共振圧力センサーでいくつかの製品を計画しています。1 つは狭い範囲の共振空気圧力センサー、もう 1 つはより一般的な広い範囲の産業グレードの圧力センサーであり、高速鉄道へのアプリケーションを含む製品もあります。過酷な環境でも使用できます。小規模範囲のサンプルは完成し、少量ずつ顧客に送られていますが、広範囲の工業用圧力センサーはまだ研究開発段階にあります。