深圳平湖實驗室建置的全國首條8吋SiC/GaN中試線及其開放式共享平台

深圳平湖實驗室已經建成了全國首條8吋SiC/GaN中試線的功率半導體開放式共享平台。這個平台涵蓋了第三代功率半導體基板、外延、裝置製備、封裝測試、失效分析、可靠性驗證全鏈條，並且具備向下相容的能力。