TSMC는 다중 노출 방법을 사용하여 1.6nm 공정을 달성합니다.
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2024-12-27 09:08
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TSMC는 최근 R&D 진행 과정에서 다중 노광 방법을 사용하여 기존 EUV 리소그래피 장비에서 1.6nm 공정을 달성한다는 목표를 성공적으로 달성했다고 밝혔습니다. 이 획기적인 기술은 반도체 산업에 더 높은 생산 효율성과 더 낮은 비용을 가져올 것입니다.
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