杭州晶驰机电科技有限公司碳化硅系列产品

杭州晶驰机电科技有限公司的碳化硅系列产品包括第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备和单腔立式外延炉。这些设备具有低硬件成本、小占地面积、高质量成膜等特点。