ASML、ユニバーサルEUVリソグラフィプラットフォームの立ち上げを検討

ASML は、さまざまな開口数をカバーするユニバーサル EUV リソグラフィ プラットフォームの立ち上げを検討しています。この計画は、企業の技術競争力を向上させながら、さまざまな顧客のニーズを満たすように設計されています。