ASML рассматривает возможность запуска универсальной платформы EUV-литографии

ASML рассматривает возможность запуска универсальной платформы EUV-литографии, которая будет охватывать различные числовые апертуры. Этот план разработан для удовлетворения потребностей различных клиентов и одновременного повышения технической конкурентоспособности компании.