ASML розглядає можливість запуску універсальної платформи літографії EUV

1
ASML розглядає можливість запуску універсальної платформи літографії EUV, яка охоплюватиме різні числові апертури. Цей план розроблено для задоволення потреб різних клієнтів, одночасно покращуючи технічну конкурентоспроможність компанії.