TSMCは価格が高すぎるため、当面は新しいASMLリソグラフィーマシンを購入しない予定

TSMCは、価格が高いため、現時点ではオランダのリソグラフィー装置メーカーASMLから新しいリソグラフィー装置を購入する計画はないと述べた。 TSMCの張暁強上級副社長は技術セミナーで、リソグラフィー装置の性能には満足しているものの、3億5000万ユーロという価格は法外であると指摘した。