8インチSiCウェーハ製造における困難の分析

8 インチ SiC の製造における困難の 1 つはインゴットの成長です。直径が 6 インチから 8 インチに拡大されると、インゴットの成長の難易度は指数関数的に増加します。 8 インチ種結晶の品質要件はより高くなりますが、同時に、サイズが大きいことによる不均一な温度場、気相原料の分布や輸送効率の問題、応力の増加による結晶割れなどの問題を解決する必要があります。解決しました。