8인치 SiC 웨이퍼 제조의 애로사항 분석

8인치 SiC 제조의 어려움 중 하나는 잉곳의 성장이다. 직경이 6인치에서 8인치로 확장되면 잉곳 성장의 어려움은 기하급수적으로 증가하게 된다. 8인치 종자 결정에 대한 품질 요구 사항은 동시에 큰 크기로 인한 불균일한 온도 장, 기상 원료 분포 및 운송 효율성 문제, 응력 증가로 인한 결정 균열 등의 문제를 해결해야 합니다. 해결되었습니다.