Analyse der Schwierigkeiten bei der Herstellung von 8-Zoll-SiC-Wafern

Eine der Schwierigkeiten bei der Herstellung von 8-Zoll-SiC ist das Wachstum von Barren. Wenn der Durchmesser von 6 Zoll auf 8 Zoll erweitert wird, nimmt die Schwierigkeit des Barrenwachstums exponentiell zu. Die Qualitätsanforderungen an 8-Zoll-Impfkristalle sind höher. Gleichzeitig müssen Probleme wie ein ungleichmäßiges Temperaturfeld aufgrund der großen Größe, Probleme bei der Gasphasen-Rohstoffverteilung und der Transporteffizienz sowie Kristallrisse aufgrund erhöhter Spannungen beseitigt werden gelöst.