Analyse van problemen bij de productie van 8-inch SiC-wafels

Een van de problemen bij het vervaardigen van 8-inch SiC is de groei van blokken. Wanneer de diameter wordt vergroot van 6 inch naar 8 inch, zal de moeilijkheid van de groei van blokken exponentieel toenemen. De kwaliteitseisen voor 8-inch zaadkristallen zijn hoger. Tegelijkertijd moeten problemen zoals een ongelijkmatig temperatuurveld veroorzaakt door grote afmetingen, problemen met de distributie van grondstoffen in de gasfase en problemen met de transportefficiëntie, evenals kristalscheuren veroorzaakt door verhoogde stress, worden aangepakt. opgelost.