Greining á erfiðleikum í 8 tommu SiC oblátaframleiðslu

Einn af erfiðleikunum við að framleiða 8 tommu SiC er vöxtur hleifa Þegar þvermálið er stækkað úr 6 tommum í 8 tommur, mun erfiðleikinn við að vaxa hleifar aukast veldisvísis. Gæðakröfur fyrir 8 tommu frækristalla eru hærri Á sama tíma þarf að vera vandamál eins og ójafnt hitastig sem stafar af stórri stærð, gasfasa hráefnisdreifingu og flutningsskilvirkni, svo og kristalsprungur af völdum aukins streitu. leyst.