Análisis de las dificultades en la fabricación de obleas de SiC de 8 pulgadas

Una de las dificultades en la fabricación de SiC de 8 pulgadas es el crecimiento de los lingotes. Cuando el diámetro se amplía de 6 pulgadas a 8 pulgadas, la dificultad de crecimiento de los lingotes aumentará exponencialmente. Los requisitos de calidad para los cristales semilla de 8 pulgadas son más altos. Al mismo tiempo, es necesario abordar problemas como el campo de temperatura desigual causado por el gran tamaño, la distribución de la materia prima en fase gaseosa y la eficiencia del transporte, así como el agrietamiento de los cristales causado por una mayor tensión. resuelto.