Analyse av vanskeligheter ved produksjon av 8-tommers SiC-wafer

En av vanskelighetene ved å produsere 8-tommers SiC er veksten av blokker Når diameteren utvides fra 6 tommer til 8 tommer, vil vanskeligheten med blokkvekst øke eksponentielt. Kvalitetskravene for 8-tommers frøkrystaller er høyere. Samtidig må problemer som ujevnt temperaturfelt forårsaket av stor størrelse, gassfase-råstofffordeling og transporteffektivitet, samt krystallsprekker forårsaket av økt stress. løst.