Анализа потешкоћа у производњи 8-инчних СиЦ плочица

84
Једна од потешкоћа у производњи 8-инчног СиЦ-а је раст ингота Када се пречник прошири са 6 инча на 8 инча, потешкоће раста ингота ће се експоненцијално повећати. Захтеви за квалитетом за кристале од 8 инча су већи. У исто време, проблеми као што су неуједначено температурно поље изазвано великом величином, проблеми са дистрибуцијом сировине у гасној фази и ефикасношћу транспорта, као и пуцање кристала изазвано повећаним напрезањем, морају да се реше. решено.