Analiza težav pri izdelavi 8-palčnih SiC rezin

2024-12-27 16:01
 84
Ena od težav pri izdelavi 8-palčnega SiC je rast ingotov. Ko se premer poveča s 6 palcev na 8 palcev, se bo težava rasti ingotov eksponentno povečala. Zahteve glede kakovosti za 8-palčne zarodne kristale so višje. Hkrati je treba odpraviti težave, kot so neenakomerno temperaturno polje, ki ga povzročajo velike velikosti, distribucija surovin v plinski fazi in težave z učinkovitostjo transporta, pa tudi pokanje kristalov, ki jih povzroča povečana obremenitev. rešeno.