Анализ на трудностите при производството на 8-инчови SiC пластини

Една от трудностите при производството на 8-инчов SiC е растежът на слитъците. Когато диаметърът се разшири от 6 инча на 8 инча, трудността на растежа на блоковете ще се увеличи експоненциално. Изискванията за качество на 8-инчовите зародишни кристали са по-високи. В същото време проблеми като неравномерно температурно поле, причинено от голям размер, разпределение на суровината в газова фаза и проблеми с ефективността на транспортирането, както и напукване на кристалите, причинено от повишено напрежение. решен.