Analiza trudności w produkcji 8-calowych płytek SiC

Jedną z trudności w produkcji 8-calowego SiC jest wzrost wlewków. Gdy średnica zostanie zwiększona z 6 cali do 8 cali, trudność we wzroście wlewków wzrośnie wykładniczo. Wymagania jakościowe dla 8-calowych kryształów zaszczepiających są wyższe. Jednocześnie należy rozwiązać problemy, takie jak nierównomierne pole temperaturowe spowodowane dużym rozmiarem, problemy z dystrybucją surowców w fazie gazowej i wydajnością transportu, a także pękanie kryształów spowodowane zwiększonym naprężeniem. rozwiązany.