Analýza ťažkostí pri výrobe 8-palcových SiC doštičiek

Jednou z ťažkostí pri výrobe 8-palcového SiC je rast ingotov, keď sa priemer zväčší zo 6 palcov na 8 palcov, obtiažnosť rastu ingotov sa exponenciálne zvýši. Požiadavky na kvalitu pre 8-palcové zárodočné kryštály sú vyššie. Zároveň je potrebné riešiť problémy, ako je nerovnomerné teplotné pole spôsobené veľkou veľkosťou, distribúcia surovín v plynnej fáze a problémy s efektívnosťou dopravy, ako aj praskanie kryštálov spôsobené zvýšeným namáhaním. vyriešené.