Analýza obtíží při výrobě 8palcových destiček SiC

Jednou z obtíží při výrobě 8palcových SiC je růst ingotů, když se průměr zvětší z 6 palců na 8 palců, obtížnost růstu ingotů se exponenciálně zvýší. Požadavky na kvalitu pro 8palcové zárodečné krystaly jsou vyšší. Současně je třeba řešit problémy, jako je nerovnoměrné teplotní pole způsobené velkou velikostí, distribuce surovin v plynné fázi a problémy s efektivitou dopravy, stejně jako praskání krystalů způsobené zvýšeným napětím. vyřešeno.