Аналіз цяжкасцей у вытворчасці 8-цалевых карбідных карбідных пласцін

84
Адной з цяжкасцей у вытворчасці 8-цалевага SiC з'яўляецца рост зліткаў. Калі дыяметр павялічваецца з 6 цаляў да 8 цаляў, складанасць росту зліткаў будзе павялічвацца ў геаметрычнай прагрэсіі. Патрабаванні да якасці 8-цалевых затравочных крышталяў вышэйшыя. У той жа час трэба вырашаць такія праблемы, як нераўнамернае тэмпературнае поле, выкліканае вялікім памерам, праблемамі размеркавання сыравіны ў газавай фазе і эфектыўнасцю транспарціроўкі, а таксама парэпанне крышталяў, выкліканае падвышанай напругай. вырашана.