A 8 hüvelykes SiC lapkagyártás nehézségeinek elemzése

A 8 hüvelykes szilícium-karbid gyártásának egyik nehézsége a tömbök növekedése. A 8 hüvelykes magkristályok minőségi követelményei ugyanakkor magasabbak, mint például a nagy méretek miatti egyenetlen hőmérséklet, a gázfázisú nyersanyageloszlás és a szállítás hatékonyságának problémái, valamint a megnövekedett feszültség okozta kristályrepedés. megoldva.