8 colių SiC plokštelių gamybos sunkumų analizė

Vienas iš sunkumų gaminant 8 colių SiC yra luitų augimas, kai skersmuo išplečiamas nuo 6 colių iki 8 colių, luitų augimo sunkumai padidės eksponentiškai. 8 colių sėklų kristalų kokybės reikalavimai yra aukštesni. Tuo pačiu metu reikia išspręsti tokias problemas kaip netolygus temperatūros laukas, atsirandantis dėl didelio dydžio, dujinės fazės žaliavos paskirstymo ir transportavimo efektyvumo problemos, taip pat dėl ​​padidėjusio įtempio atsiradęs kristalų įtrūkimai. išspręsta.