Analiza poteškoća u proizvodnji 8-inčnih SiC pločica

Jedna od poteškoća u proizvodnji 8-inčnog SiC-a je rast ingota. Kada se promjer proširi sa 6 inča na 8 inča, poteškoće rasta ingota će se eksponencijalno povećati. Zahtjevi za kvalitetu za klice od 8 inča su veći. U isto vrijeme, problemi kao što su neravnomjerno temperaturno polje uzrokovano velikom veličinom, distribucija sirovina u plinovitoj fazi i problemi učinkovitosti transporta, kao i pucanje kristala uzrokovano povećanim stresom. riješena.