8-tolliste SiC vahvlite valmistamise raskuste analüüs

Üks raskusi 8-tollise ränikarbiidi valmistamisel on valuplokkide kasv Kui diameetrit suurendatakse 6 tollilt 8 tollile, suureneb valuploki kasvamise raskus plahvatuslikult. 8-tolliste seemnekristallide kvaliteedinõuded on kõrgemad. Samal ajal tuleb kõrvaldada sellised probleemid nagu suurtest mõõtmetest tingitud ebaühtlane temperatuuriväli, gaasifaasi tooraine jaotus ja transpordi tõhusus ning suurenenud pingest tingitud kristallide pragunemine. lahendatud.