تحليل الصعوبات في تصنيع رقاقة SiC مقاس 8 بوصة

84
إحدى الصعوبات في تصنيع SiC مقاس 8 بوصة هي نمو السبائك. عندما يتم توسيع القطر من 6 بوصات إلى 8 بوصات، ستزداد صعوبة نمو السبائك بشكل كبير. متطلبات الجودة لبلورات البذور مقاس 8 بوصة أعلى وفي الوقت نفسه، يجب معالجة مشكلات مثل مجال درجة الحرارة غير المتساوي الناتج عن الحجم الكبير وتوزيع المواد الخام في مرحلة الغاز وقضايا كفاءة النقل، فضلاً عن تشقق البلورات الناتج عن زيادة الضغط. حلها.