Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний зардлын шинжилгээ: дээд талын холбоос дахь үнэ цэнийн концентраци

SiC үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээнд дээд талын субстрат ба эпитаксиаль давхаргын үйлдвэрлэлийн холбоосууд нь төхөөрөмжийн нийт зардлын дийлэнх хувийг эзэлж, тус бүр 47% ба 23% -ийг эзэлдэг. Цахиурт суурилсан төхөөрөмжтэй харьцуулахад SiC төхөөрөмжүүдийн өртөг нь дээд хэсэгт илүү төвлөрч, дунд болон доод урсгалын үйлдвэрлэл, сав баглаа боодлын холбоосын үнэ цэнэ бага байдаг. Энэ нь SiC материалын онцгой шинж чанар, үйлдвэрлэлийн үйл явцын нарийн төвөгтэй байдлыг илэрхийлдэг.