ASML odrzuca twierdzenie, że EUV o wysokim NA nie jest konkurencyjne

96
ASML odrzuca wszelkie twierdzenia, że EUV o wysokim NA nie jest konkurencyjne. Peter Wennink, były dyrektor generalny firmy, powiedział, że z ekonomicznego punktu widzenia High NA EUV jest niewątpliwie właściwym wyborem, a obecnie kilkanaście urządzeń High NA otrzymało duże zamówienia.