ASML দাবি খণ্ডন করে যে উচ্চ NA EUV প্রতিযোগিতামূলক নয়

96
ASML সমস্ত দাবি প্রত্যাখ্যান করে যে উচ্চ NA EUV প্রতিযোগিতামূলক নয়। কোম্পানির প্রাক্তন সিইও পিটার ওয়েনিঙ্ক বলেছেন যে অর্থনৈতিক দৃষ্টিকোণ থেকে, হাই এনএ ইইউভি নিঃসন্দেহে সঠিক পছন্দ, এবং বর্তমানে এক ডজনেরও বেশি হাই এনএ ডিভাইসগুলি ভাল অর্ডার ভলিউম পেয়েছে।