英特爾將使用 ASML 高數值孔徑 EUV 機器進行研發和生產

英特爾將成為首家完全組裝 ASML High NA 系統的晶片製造商，並在俄勒岡州的 D1X 工廠投入自己的機器。英特爾將首先將其 EXE:5200 High NA 機器用於研發目的，然後將其投入生產 14A 節點。