Intel käyttää ASML-suuren numeerisen aukon EUV-konetta tutkimukseen, kehitykseen ja tuotantoon

Intel on ensimmäinen siruvalmistaja, joka kokoaa täysin ASML High NA -järjestelmät ja ottaa omat koneensa käyttöön D1X-laitoksessaan Oregonissa. Intel käyttää ensin EXE:5200 High NA -koneitaan T&K-tarkoituksiin, ennen kuin siirtää ne tuotantoon 14A-solmussa.