Intel bo za raziskave in razvoj ter proizvodnjo uporabljal stroj ASML z visoko numerično aperturo EUV

Intel bo prvi izdelovalec čipov, ki bo v celoti sestavil sisteme ASML High NA in začel delovati z lastnimi stroji v svojem obratu D1X v Oregonu. Intel bo svoje stroje EXE:5200 High NA najprej uporabil za namene raziskav in razvoja, preden jih bo preselil v proizvodnjo na vozlišču 14A.