Intel użyje maszyny EUV o wysokiej aperturze numerycznej ASML do celów badawczo-rozwojowych i produkcji

Intel będzie pierwszym producentem chipów, który w pełni zmontuje systemy ASML High NA, uruchamiając własne maszyny w swoim zakładzie D1X w Oregonie. Intel w pierwszej kolejności wykorzysta swoje maszyny EXE:5200 High NA do celów badawczo-rozwojowych, a następnie przeniesie je do środowiska produkcyjnego w węźle 14A.