Az Intel ASML nagy numerikus apertúrájú EUV gépet használ a kutatás-fejlesztéshez és a gyártáshoz

Az Intel lesz az első chipgyártó, amely teljesen összeállítja az ASML High NA rendszereket, és üzembe helyezi saját gépeit az oregoni D1X létesítményében. Az Intel először az EXE:5200 High NA gépeit használja kutatási és fejlesztési célokra, mielőtt a 14A-es csomóponton termelésbe helyezi őket.