Intel će koristiti EUV stroj s visokim numeričkim otvorom ASML za istraživanje i razvoj i proizvodnju

Intel će biti prvi proizvođač čipova koji će u potpunosti sastaviti ASML High NA sustave, puštajući vlastite strojeve u rad u svom D1X pogonu u Oregonu. Intel će prvo koristiti svoje EXE:5200 High NA strojeve za potrebe istraživanja i razvoja prije nego što ih prebaci u proizvodnju na 14A čvoru.