Intel จะใช้เครื่อง EUV รูรับแสงตัวเลขสูง ASML สำหรับการวิจัยและพัฒนาและการผลิต

Intel จะเป็นผู้ผลิตชิปรายแรกที่ประกอบระบบ ASML High NA อย่างเต็มรูปแบบ โดยนำเครื่องจักรของตัวเองไปใช้งานที่โรงงาน D1X ในรัฐโอเรกอน Intel จะใช้เครื่อง EXE:5200 High NA เพื่อวัตถุประสงค์ด้านการวิจัยและพัฒนา ก่อนที่จะย้ายไปสู่การผลิตบนโหนด 14A