上海交通大學無錫光子晶片研究院首批設備入場

上海交通大學無錫光子晶片研究院光子晶片中試線首批設備已入場。該研究院致力於光子晶片、量子科技領域的研究，並得到了無錫市的大力支持。此次入場的設備包括金屬ICP蝕刻設備和雷射切割設備，將為6/8英吋晶圓薄膜鈮酸鋰光子晶片製造提供關鍵技術支援。