上海交通大学無錫フォトニックチップ研究所の最初の設備が市場に投入される

上海交通大学無錫フォトニックチップ研究所のフォトニックチップパイロットラインの最初のバッチの機器が市場に投入されました。同研究所はフォトニックチップと量子技術の分野の研究に注力しており、無錫市から強力な支援を受けている。今回導入された設備には、金属ICPエッチング装置やレーザー切断装置が含まれており、6/8インチウェーハ薄膜ニオブ酸リチウムフォトニックチップの製造における重要な技術サポートを提供します。