天嶽先進在液相法領域取得重大突破

天嶽先進在備受關注的液相法領域取得了重大突破，並於2024年推出了採用液相法製備的4度偏角P型碳化矽基板。這種新型的P型碳化矽基板具有優秀的電阻率小於200mΩ·cm，面內電阻率分佈均勻，結晶性良好的特性。