Tianyue Advancedは液相法の分野で大きな進歩を遂げました

Tianyue Advancedは、注目を集める液相法の分野で大きな進歩を遂げ、液相法で作製したオフ角4度のP型炭化ケイ素基板を2024年に発売した。この新しいタイプのP型炭化珪素基板は、比抵抗が200mΩ・cm未満と優れており、面内比抵抗分布が均一で、結晶性も良好です。