STマイクロエレクトロニクスのカターニアシリコンカーバイドキャンパスで200mm SiCウェハの量産を実現

イタリアのカターニアにあるSTマイクロエレクトロニクスの炭化ケイ素キャンパスでは、200 mm SiCウェハの量産が実現します。このキャンパスには、基板開発、エピタキシャル成長プロセス、ウェーハ製造、モジュールのバックエンド組み立てなど、生産プロセスのすべての段階が統合されます。